材料表徵
WE KNOW HOW™
不同的分析方法需要不同的材料表征服務 EAG實驗室使用30不同的材料表徵方法為我們的客戶提供答案。 通常，根據所需信息和样本的形式來選擇用於給定問題的一種或多種技術。大多數常用技術用於分析固體樣本，儘管也可以進行液體和氣體採樣。
EAG的材料表征服務可能適用於：
- 研究與開發：用於基礎研究以及新概念和新材料的測試
- 流程開發：測試新流程，設計和工具
- 生產：鑑定來料; 監測; 質量控制
- 流程改進：監控流程變更和後續流程績效
- 故障分析：調查污染/缺陷分析問題; 識別污染源; 好/壞的比較
在某些情況下，感興趣的材料已經確定，但需要有關特定屬性的更多信息，例如界面銳度、特定元素的深度分佈、形態、晶體結構、厚度、應力和質量（或許多其他特性） . 在其他情況下，感興趣的材料或組件尚未確定，也沒有很好地表徵。 需要有關材料的特性和成分的信息。
以下是材料表徵方法非常有用的領域：
薄膜分析
薄膜分析涵蓋了一系列可能影響所用技術選擇的可能情景：
- 薄膜厚度範圍可以從埃/Å（10-10 m），通過微米/μm範圍（10-6 m）高達毫米/毫米（10-3 米）。
- 測量靈敏度因技術而異，從原子％範圍降至十億分之一（ppb）。
- 橫向分析區域的尺寸可以有效地限制，或者可以非常有限。
影片通常可以通過兩種方式進行分析：垂直，自上而下或自下而上； 或水平作為橫截面。 表面的自頂向下分析可以提供粗糙度，形態，表面組成和污染物信息。 隨後的濺射可以發現其他信息，例如厚度，成分，元素的垂直分佈以及摻雜劑和污染物水平。 橫截面分析可以揭示層的厚度，晶粒尺寸和結晶度。
深度剖析
深度剖面是顯示相對於深度（x軸）的濃度（y軸）的圖。 它們可以通過連續監測關於深度的特定感興趣物種來獲得（例如 模擬人生），或以逐步的方式通過去除材料，測量，然後重複該過程（例如， XPS or Auger）。 感興趣層的厚度和所需的檢測限（或可實現的檢測限）是確定給定樣品的最佳技術的重要因素。
如果沒有正確執行和解釋，由於測量和样本的潛在復雜性，可能會將偽像和誤差引入深度剖面中。 基於多種樣本類型的多年先前經驗，EAG對如何在優化條件下獲取深度剖面而不引入不必要的工件有深入的了解。 同樣，EAG提供的對數據的正確和準確解釋也非常重要。
結晶度
雖然大多數其他材料表徵分析技術提供樣品的元素或分子信息，X射線衍射（XRD）在提供關於結構，結晶相（多晶型物），優選的晶體取向（紋理）和其他結構參數（例如微晶尺寸，結晶度百分比，應變，應力和晶體缺陷）的各種信息方面是獨特的。
